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    超聲掃描顯微鏡
    超聲掃描顯微鏡(GRD-CS3)

    產品簡介:

    GRD-CS3超聲掃描顯微鏡是一種實用性極強的無損檢測工具。該產品主要利用高頻的超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能。因此,被廣泛應用于半導體器件及封裝檢測、材料檢測、IGBT功率模組產品檢測等場合。


    技術特點:

    ■ 支持A、B、C掃描,透射掃描,多層掃描,JEDEC托盤掃描,厚度測量等掃描模式。

    ■ 可用圖像的方式顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比。

    ■ 掃描軸采用直線電機和光柵尺反饋,可以獲得更高的運動精度,最高分辨率達0.1μm。

    ■ 適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。

    ■ 超聲系統帶寬范圍廣,兼容的超聲探頭頻率可由1-300MHz。

    ■ 設備搭載的NDTS超聲掃描檢測軟件為廣林達自主研發,中文操作界面便于閱讀,可根據客戶需求對功能進行持續升級。


    應用領域:

    ■ 半導體器件及封裝檢測:

    分立器件(IGBT/SiC)、陶瓷基板、塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊等。

    ■ 材料檢測:

    陶瓷、玻璃、金屬、塑料、焊接件、水冷散熱器等。

    ■ IGBT功率模組產品檢測:

    實現 IGBT 模塊內部界面和結構缺陷的無損檢測,準確找到 IGBT 模塊材料、工藝中出現的問題,篩選不合格產品,并促進 IGBT 模塊的封裝質量提升。


    主要參數:

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    聯系方式:

    0512-68733459

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